產(chǎn)品分類
推薦品牌
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| 型號 | M4 | M6mini | M6 | ||||||
| 外形（長*寬*高） | 650*490*620mm | 650*490*620mm | 650*490*620mm | ||||||
| 重量（KG） | 約45kg | 約47kg | 約52kg | ||||||
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||||||
| 卡盤常溫標(biāo)準(zhǔn) | 卡盤尺寸 | 4' | 6' | 6' | |||||
| 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附（可定制多孔吸附） | ||||||||
| 背電極測試功能 | 有/樣品臺電學(xué)獨立懸空 | ||||||||
| 卡盤材質(zhì) | 不銹鋼/銅鍍鎳或鍍金 | ||||||||
| 卡盤移動平臺 | X-Y行程 | 100*100mm | 150*150mm | 150*150mm | |||||
| 移動精度 | 10μm | ||||||||
| Theta行程 | 360°旋轉(zhuǎn)（粗調(diào)）；微調(diào)范圍±8°，微調(diào)精度0.002° | ||||||||
| 卡盤升降 | N/A | ||||||||
| 卡盤快速拉出 | N/A | ||||||||
| 控制方式 | 小型旋鈕驅(qū)動 | ||||||||
| 針座平臺 | 平臺尺寸 | 長540mm*寬310mm | |||||||
| 卡盤到平臺距離 | 8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面） | ||||||||
| 針座數(shù)量 | 最多可放置6針座（DC×6/RF×4,DC×2) | ||||||||
| 針座平臺升降 | N/A | ||||||||
| 針座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | ||||||||
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡規(guī)格 | 標(biāo)配體視顯微鏡（可選配視頻顯微鏡） | |||||||
| 放大倍數(shù) | 16~100X | ||||||||
| CCD像素 | 3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字） | ||||||||
| 顯微鏡控制行程 | 顯微鏡調(diào)焦架控制可360度旋轉(zhuǎn)，Z軸：50.8mm | ||||||||
| 顯微鏡移動精度 | N/A | ||||||||
| 鏡頭切換方式 | N/A | ||||||||
| 點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||||||
| 機(jī)械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | ||||||||
| 漏電精度 | 同軸1pA/V @25℃；三軸100fA/V @25℃; 三軸10pA@3kv @25°C， 測試條件：接地屏蔽的干燥環(huán)境（空氣露點低于-40°C） | ||||||||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 |
