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| 型號 | E4 | E6 | E8 | E12 | |||||
| 外形（長*寬*高/mm） | 680*670*760mm | 680*670*760mm | 750*670*800mm | 1030*800*850mm | |||||
| 重量（KG） | 約90kg | 約95kg | 約110kg | 約210kg | |||||
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||||||
| 卡盤常溫標準 | 卡盤尺寸 | 4' | 6' | 8' | 12' | ||||
| 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附（可定制多孔吸附） | ||||||||
| 背電極測試功能 | 有，樣品臺電學獨立懸空 | ||||||||
| 卡盤材質 | 不銹鋼/銅鍍鎳或鍍金 | ||||||||
| 卡盤移動平臺 | Theta行程 | 360°旋轉（粗調）；微調范圍±8°，微調精度0.002° | |||||||
| 卡盤升降 | 卡盤臺可以上下快速升降5mm，微調升降行程6mm，精度1μm | ||||||||
| X-Y行程 | 100*100mm | 150*150mm | 200*200mm | 250*250mm | |||||
| 移動精度 | 10μm | ||||||||
| 卡盤快速拉出 | N/A | ||||||||
| 控制方式 | 小型旋鈕驅動 | ||||||||
| 針座平臺 | 外形尺寸 | 長550mm*寬405mm | 長720mm*寬405mm | 長980mm*寬480mm | |||||
| 卡盤到平臺距離 | 8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面） | ||||||||
| 針座數(shù)量 | 最多可放6個針座 | 最多可放8個針座 | 最多可放10個針座 | ||||||
| 針座平臺升降 | N/A | ||||||||
| 針座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | ||||||||
| 光學特性 | 鏡頭規(guī)格 | 標配PSM-1000金相顯微鏡/可選（GX-6金相，體視，視頻）顯微鏡 | |||||||
| 放大倍數(shù) | 20-2000X | ||||||||
| CCD像素 | 3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字） | ||||||||
| 運動控制 | Z軸移動行程50.8mm，同軸旋鈕調節(jié)，細調精度優(yōu)于1μm | ||||||||
| 顯微鏡行程 | 顯微鏡2英寸XY平移臺范圍內移動 | ||||||||
| 顯微鏡移動精度 | 1μm | ||||||||
| 點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||||||
| 機械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | ||||||||
| 漏電精度 | 同軸1pA/V @25℃；三軸100fA/V @25℃; 三軸10pA@3kv @25°C， 測試條件：接地屏蔽的干燥環(huán)境（空氣露點低于-40°C） | ||||||||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 |
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