產(chǎn)品分類
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| >卡盤XY移動平臺（標(biāo)準(zhǔn)配置） | |||||||||
| XY行程范圍 | 300mmx300mm(12'x12') | ||||||||
| XY最佳行程 | 300mmx300mm（滿足大范圍行程測試） | ||||||||
| 移動精度/分辨率 | <1.0μm(0.04mils)(~0.8mm/rev) | ||||||||
| 平面性 | <10μm | ||||||||
| theta行程 | 粗調(diào)：360° | ||||||||
| 微調(diào)精度：±8.0°(optional)* | |||||||||
| 分辨率：7.5x10-3gradient | |||||||||
| 運動控制 | 氣控+無牙螺母控制 | ||||||||
| Z軸升降 | 快速升降：3mm | ||||||||
| 微調(diào)升降：0-13mm,精度：≤2μm | |||||||||
| >針座平臺 | |||||||||
| 材料 | 鋼鍍鎳 | ||||||||
| 尺寸 | 見產(chǎn)品尺寸介紹第8頁 | ||||||||
| 最大針座數(shù)量 | 8DCand4RF(取于針座配置) | ||||||||
| 卡盤到針座平臺下底面最佳距離 | / | ||||||||
| Z-height運動范圍 | Max.0-40mm(取于卡盤配置) | ||||||||
| Separationlift | 3段：分離(300μm)，Load裝載(5mm),不間斷升降（0-40mm) | ||||||||
| 接觸重復(fù)性 | <±1μm(0.08mils) | ||||||||
| RF針座固定 | 磁力吸附/真空吸附 | ||||||||
| DC針座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
