型號 | CG-0-2 | CG-0-4 | CG-C-2 | ||||||
樣品臺 | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 | |||||
樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 | ||||||||
真空度 | 10^-l0torr最高真空 | ||||||||
光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | R軸360°+移動軸100mm | |||||||
放大倍數(shù) | 變焦:7:1,分辨率4μm(放大倍數(shù)216X)或者選用金相顯微鏡(20X~1000X) | ||||||||
真空腔觀察窗尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 | ||||||
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | ||||||||
溫控規(guī)格 | 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷壓縮機(jī) | ||||||
控制方式 | 開循環(huán)手動/自動冷媒流量控制 | 閉循環(huán)自動控制 | |||||||
控溫范圍 | 77K~473K/4.2K~473K | 7.3K~473K | |||||||
控溫分辨率 | 0.001K | ||||||||
溫度穩(wěn)定性 | 4.2K±0.2K77K±0.1K373K±0.08K473K±0.1K | ||||||||
點針規(guī)格 | 探針數(shù)量 | 各種探針數(shù)量最多擴(kuò)充到6個 | |||||||
探針調(diào)節(jié) | 真空波紋管外部調(diào)節(jié),手動控制 | ||||||||
點針精度 | 2μm | ||||||||
漏電精度 | 1pA/V@25℃,100fA/V@25℃ | ||||||||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 |