產(chǎn)品分類
推薦品牌
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| 機械規(guī)格 | |||||||||
| Chuck | 8' | ||||||||
| Chuck平整度 | 20um | ||||||||
| 探針臂定位精度 | 2um | ||||||||
| 探針臂X軸行程 | 10mm | ||||||||
| 探針臂Y軸行程 | 10mm | ||||||||
| 探針臂Z軸行程 | 10mm | ||||||||
| Chuck位移臺X軸行程 | 200mm | ||||||||
| Chuck位移臺Y軸行程 | 200mm | ||||||||
| Chuck位移臺Z軸行程 | 20mm | ||||||||
| Chuck位移臺Q軸行程 | ±5° | ||||||||
| Chuck位移臺定位精度 | 1um | ||||||||
| 溫控規(guī)格 | |||||||||
| 溫度范圍 | 77K～450K（液氮） | ||||||||
| 溫控器分辨率 | 0.001℃ | ||||||||
| 傳感器誤差 | 任意區(qū)段0.5% | ||||||||
| 真空規(guī)格 | |||||||||
| 漏率 | 1.3x10-9Pa.M3/s | ||||||||
| 分子泵組抽速 | 290L/S | ||||||||
| 分子泵極限壓力 | ＜5x10-10mbar | ||||||||
| 系統(tǒng)極限壓力 | ＜5.0x10-4Pa |
