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全自動(dòng)探針臺(tái)
型號(hào)：
A系列
品牌：
森美協(xié)爾(SEMISHARE)
簡(jiǎn)述：
支持Sic/Gan晶圓測(cè)試，大功率晶圓測(cè)試； 更換Chuck設(shè)計(jì)，可針對(duì)不同晶圓測(cè)試； 可與儀器儀表系統(tǒng)進(jìn)行集成； 可升級(jí)高低溫測(cè)試環(huán)境測(cè)試
產(chǎn)品型號(hào)
型號(hào) A8 A12
晶圓規(guī)格 晶圓直徑 6英寸，8英寸 8英寸，12英寸
晶圓厚度 50-2000μm 200-2200μm
重量 ≤500g ≤500g
Die尺寸 300-100000μm 300-100000μm
XY軸規(guī)格參數(shù) XY行程 260mm*450mm X:±170mm,Y:-180,+600mm
XY分辨率 0.lμm 0.lμm
XY重復(fù)定位精度 ≤±lμm ≤±lμm
XY最大速度 200mm/s 240mm/s
Z軸規(guī)格參數(shù) Z行程 0-80mm 0-80mm
Z分辨率 0.lμm 0.lμm
Z重復(fù)定位精度 ≤±lμm ≤±lμm
Z最大速度 80mm/s 80mm/s
Theta規(guī)格參數(shù) 范圍 ±10° ±10°
精度 0.00001° 0.00001°
Cassette/Wafer尺寸 Ф150mm,Ф200mm Ф200mm,Ф300mm
電力需求 50/60HzAC220V 50/60HzAC220V
CDA氣壓 0.6-0.7MpA 0.4-0.8MpA
真空氣壓 -70to-90Kpa -70to-90Kpa
規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)
A8、A12
產(chǎn)品尺寸
A8(1124x1111x925)；A12(1600x1660x1450)
操控方式
全自動(dòng)
電力需求
220V，50/60Hz
工作環(huán)境
開放式
設(shè)備重量
1.2T,2T
  • 產(chǎn)品型號(hào)
    A8、A12
  • 電力需求
    220V，50/60Hz
  • 產(chǎn)品尺寸
    A8(1124x1111x925)；A12(1600x1660x1450)
  • 工作環(huán)境
    開放式
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    全自動(dòng)
  • 設(shè)備重量
    1.2T,2T
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