3種可升級的頻率選件:1MHz至500MHz/1GHz/3GHz
±0.65%基本準確度和120m?至52k?阻抗范圍(10%測量準確度范圍)
測量參數(shù):|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1(1.需要選件001)
內(nèi)置直流偏置(選件001):0V至±40V,0A至±100mA
10.4英寸彩色LCD觸摸屏可顯示4個通道和4條跡線
數(shù)據(jù)分析功能:等效電路分析、極限線測試
介電/磁性材料測量(選件002):|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
提供溫度特征測量(選件007)和可靠的晶圓上測量(選件010)