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| 型號 | LS25x.Lab.R | LS35x.Lab.o/R | LS65x.Lab.O/R | ||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 25×25×10 | 35×35×12 | 65×65×13 | ||||||
| 主體材質 | 默認不銹鋼（可選鋁合金、純鈦版） | ||||||||
| 自重（g） | 40g | 102g（.R）200g(.O) | 200g(.O) | ||||||
| 運動行程（mm） | 8 | 20 | 30 | ||||||
| 最大速度（mm/s） | -20 | ||||||||
| 最小步伐（nm） | ~15 | ~10 | ~10 | ||||||
| 重復定位精度（nm） | / | 300 | 200 | ||||||
| 驅動頻率 | Max.20kHz（超安靜運動） | ||||||||
| 最大水平推力（N） | 2 | ||||||||
| 保持力 | 5 | 5 | 5 | ||||||
| 全行程俯仰/偏擺 | 0.2mrad/0.3mrad（0.012°/0.017°） | ||||||||
| 水平負載 | 500g | 500g | 2000g | ||||||
| 豎直負載 | 200g | 200g | 150g | ||||||
| 位置傳感類型 | -電阻型傳感（.R） | -電阻型傳感（.R）-光柵尺傳感（.O） | -電阻型傳感（.R）-光柵尺傳感（.O） | ||||||
| 位置傳感量程（mm） | 8 | 20 | 30 | ||||||
| 位置傳感分辨率 | -150nm | 電阻型傳感（.R），100-200nm-光柵尺傳感（.O），10nm(默認);4.88nm,2.44nm,1nm可選 | 電阻型傳感（.R），100-200nm-光柵尺傳感（.O），10nm(默認);4.88nm,2.44nm,1nm可選 |
超安靜運動，20HZ驅動頻率
閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學型(.0)
高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認)；4.88nm2.44nm,lnm可選
經濟型空間傳感分辨率(R)100-200nm
最小步伐約10nm
可提供多軸堆疊安裝轉接件
控制器兼容旋轉臺，搖擺臺
高真空(HV)和超高真空支持無磁(NM)、(UHV)選件
