型號 | GS65-77.Lab.O | GS65-97.Lab.O | |||||||
底面尺寸×高度(mm) | 70×70×20 | ||||||||
主體材質(zhì) | 默認(rèn)不銹鋼(可選鋁合金、純鈦版本 | ||||||||
自重 | 650g | 650g | |||||||
運(yùn)動行程(°) | +/-10 | ||||||||
搖擺半徑(mm) | 77 | 97 | |||||||
最大速度(°/s) | –3 | ||||||||
最小步伐 | 1urad(0.000057°) | ||||||||
驅(qū)動頻率 | Max.20kHz(超安靜運(yùn)動) | ||||||||
最大負(fù)載(g) | 1000 | ||||||||
自鎖力(N*mm) | 50 | ||||||||
驅(qū)動力矩(N*mm) | 20 | ||||||||
位置傳感類型 | -光柵尺傳感(.O) | ||||||||
位置傳感量程 | 20° | ||||||||
位置傳感分辨率 | 0.12urad(6.7m°,默認(rèn));0.06urad,0.03urad可選 | 0.1urad(5.4m°,默認(rèn));0.05urad,0.02urad可選 |
超安靜運(yùn)動,20HZ驅(qū)動頻率
閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學(xué)型(.0)
高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認(rèn));4.88nm2.44nm,lnm可選
經(jīng)濟(jì)型··空間傳感分辨率(R)100-200nm
最小步伐約10nm
可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件
控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺,搖擺臺
高真空(HV)和超高真空支持無磁(NM)、(UHV)選件