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壓電納米角位移臺
型號:
GSxx-xx.lab.O/R系列
品牌:
卓立漢光(ZOLIX)
簡述:
超安靜運(yùn)動,20HZ驅(qū)動頻率 閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學(xué)型(.0) 高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認(rèn));4.88nm2.44nm,lnm可選 經(jīng)濟(jì)型··空間傳感分辨率(R)100-200nm
產(chǎn)品型號
型號 GS65-77.Lab.O GS65-97.Lab.O
底面尺寸×高度(mm) 70×70×20
主體材質(zhì) 默認(rèn)不銹鋼(可選鋁合金、純鈦版本
自重 650g 650g
運(yùn)動行程(°) +/-10
搖擺半徑(mm) 77 97
最大速度(°/s) –3
最小步伐 1urad(0.000057°)
驅(qū)動頻率 Max.20kHz(超安靜運(yùn)動)
最大負(fù)載(g) 1000
自鎖力(N*mm) 50
驅(qū)動力矩(N*mm) 20
位置傳感類型 -光柵尺傳感(.O)
位置傳感量程 20°
位置傳感分辨率 0.12urad(6.7m°,默認(rèn));0.06urad,0.03urad可選 0.1urad(5.4m°,默認(rèn));0.05urad,0.02urad可選
產(chǎn)品特點(diǎn)

超安靜運(yùn)動,20HZ驅(qū)動頻率

閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學(xué)型(.0)

高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認(rèn));4.88nm2.44nm,lnm可選

經(jīng)濟(jì)型··空間傳感分辨率(R)100-200nm

最小步伐約10nm

可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件

控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺,搖擺臺

高真空(HV)和超高真空支持無磁(NM)、(UHV)選件

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