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中空壓電載物臺(tái)
型號(hào):
Carrier.Lxxxx.XY
品牌:
卓立漢光(ZOLIX)
簡(jiǎn)述:
最小步伐尺寸約 20nm 最高速度10 mm/s 閉環(huán)傳感,空間分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm 支持無磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 選件 主體鋁合金(硬質(zhì)氧化發(fā)黑)
產(chǎn)品型號(hào)
型號(hào) Carrier.L7550.XY Carrier.L1010.XY Carrier.R200
外形尺寸(mm) 250×200×30 250×250×40 200×200×24
主體材料 / 鋁合金 /
自重(g) 2333 4000 2000
運(yùn)動(dòng)行程(mm) 75×50 100×100 連續(xù)運(yùn)動(dòng)
最小安裝尺寸(mm) 325*250*30 350*250*40mm 200*200*24
通孔尺寸(mm) 85*65 120*120 60
最大速度(mm/s) –15 –10 /
最小步伐(nm) ~20 ~20 /
重復(fù)定位精度
驅(qū)動(dòng)頻率 / / Max.20kHz
最大負(fù)載(kg) 2 4 1
位置傳感量程(mm) 75×50 100×100 300°
位置傳感分辨率 -光柵尺傳感(.O),10nm(默認(rèn));4.88nm,2.44nm,1nm可選 /
推薦使用溫度 / 15-40℃ /
產(chǎn)品特點(diǎn)

最小步伐尺寸約20nm

最高速度10mm/s

閉環(huán)傳感,空間分辨率1nm/2.44nm/4.88nm/10nm

支持無磁(NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件

主體鋁合金(硬質(zhì)氧化發(fā)黑)

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