型號(hào) | Carrier.L7550.XY | Carrier.L1010.XY | Carrier.R200 | ||||||
外形尺寸(mm) | 250×200×30 | 250×250×40 | 200×200×24 | ||||||
主體材料 | / | 鋁合金 | / | ||||||
自重(g) | 2333 | 4000 | 2000 | ||||||
運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 75×50 | 100×100 | 連續(xù)運(yùn)動(dòng) | ||||||
最小安裝尺寸(mm) | 325*250*30 | 350*250*40mm | 200*200*24 | ||||||
通孔尺寸(mm) | 85*65 | 120*120 | 60 | ||||||
最大速度(mm/s) | –15 | –10 | / | ||||||
最小步伐(nm) | ~20 | ~20 | / | ||||||
重復(fù)定位精度 | |||||||||
驅(qū)動(dòng)頻率 | / | / | Max.20kHz | ||||||
最大負(fù)載(kg) | 2 | 4 | 1 | ||||||
位置傳感量程(mm) | 75×50 | 100×100 | 300° | ||||||
位置傳感分辨率 | -光柵尺傳感(.O),10nm(默認(rèn));4.88nm,2.44nm,1nm可選 | / | |||||||
推薦使用溫度 | / | 15-40℃ | / |
最小步伐尺寸約20nm
最高速度10mm/s
閉環(huán)傳感,空間分辨率1nm/2.44nm/4.88nm/10nm
支持無磁(NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件
主體鋁合金(硬質(zhì)氧化發(fā)黑)