型號(hào) | Free6D.3-2.150 | ||||||||
外形尺寸(mm) | ?150×112mm | ||||||||
主體材料 | 不銹鋼/鋁合金 | ||||||||
運(yùn)動(dòng)參數(shù) | |||||||||
行程X,Y,Z | ±9mm,±9mm,±5mm | ||||||||
行程ΘX,ΘY,ΘZ | ±10°,±10°,±20° | ||||||||
單向重復(fù)定位精度X,Y,Z | ±0.3um,±0.3um,±0.1um | ||||||||
單向重復(fù)定位精度ΘX,ΘY,ΘZ | ±5urad,±5urad,±5urad | ||||||||
最小位移X,Y,Z | 0.1um,0.1um,0.1um | ||||||||
最小位移ΘX,ΘY,ΘZ | 5urad,5urad,5urad | ||||||||
位置傳感參數(shù) | |||||||||
集成傳感器 | 光學(xué)編碼器 | ||||||||
位置傳感分辨率 | -光柵尺傳感(.O),10nm(默認(rèn));4.88nm,2.44nm,1nm可選 | ||||||||
控制器信息 | |||||||||
工作電壓 | 220V | ||||||||
控制器通道 | 6通道輸出控制 | ||||||||
通訊接口 | USB,232,網(wǎng)口通訊 | ||||||||
控制軟件 | 提供PC端使用軟件,支持labview,串口命令集控制 |