產(chǎn)品分類
推薦品牌
| 型號(hào) | Carrier.OB.050.C | Carrier.OB100.C | Carrier.OBHL100.C | ||||||
| 外形尺寸 | 詳見各型號(hào)尺寸圖 | ||||||||
| 材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 | ||||||||
| 自重（g） | 270 | 270 | 500 | ||||||
| 運(yùn)動(dòng)方向 | Z軸 | ||||||||
| 行程（um） | 50 | 100 | 100 | ||||||
| 線性度 | 0.0002 | 0.0003 | 0.0002 | ||||||
| 內(nèi)置傳感器 | 電容式傳感 | ||||||||
| 傳感器噪聲（nm） | 1 | ||||||||
| Z方向分辨率，開環(huán)（nm） | 0.2 | ||||||||
| 穩(wěn)定時(shí)間(90%位置到達(dá))（ms） | 10 | 15 | 10 | ||||||
| 共振頻率（無負(fù)載）（Hz） | 600 | 500 | 900 | ||||||
| 共振頻率（150g負(fù)載）（Hz） | 300 | 250 | 500 |
最快穩(wěn)定時(shí)間(90%位置穩(wěn)定)15ms以內(nèi)
閉環(huán)分辨率優(yōu)于1nm
最大負(fù)載500g
控制器兼容多場(chǎng)科技MotionController-ArchimedesSeries
支持無磁(.NM)、高真空(HV)和超高真空(.UHV)選件
