產(chǎn)品分類
推薦品牌
| 型號 | S100.z.C/S | S300.x.C | S100.xy/xyz.C | ||||||
| 運動方向 | Z方向 | X方向 | S100.XY:X，Y方向 | ||||||
| S100.XYZ:X，Y，Z方向 | |||||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 40×40×18 | 50×50×17 | 55×55×40 | ||||||
| 主體材料 | 鋁合金&不銹鋼 | ||||||||
| 自重（g） | 150 | 200 | 500 | ||||||
| 運動行程（um） | 100(閉環(huán)) | 300(開環(huán)) | S100.xy.C:100×100 | ||||||
| 250(閉環(huán)) | S100.xyz.C:100×100×100 | ||||||||
| 運動分辨率（nm） | 0.2 | 1 | 0.2(開環(huán))1(閉環(huán)) | ||||||
| 運動可重復(fù)精度（nm） | ±5 | 士10 | <10 | ||||||
| 線性誤差 | 優(yōu)于0.02% | 優(yōu)于0.1% | 優(yōu)于0.1% | ||||||
| 共振頻率（Hz） | X，Y:400，350 | ||||||||
| 500 | 350 | Z:300 | |||||||
| 剛性（N/um） | 0.5 | / | 0.5 | ||||||
| 閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本） | 電容式 | ||||||||
| 驅(qū)動電壓 | 150V | Max.150V | 150V | ||||||
| 推薦使用溫度 | -20~80°C |
緊湊設(shè)計、XYZ三軸在極小外形尺寸范圍內(nèi)做到較大行程
高負(fù)載，負(fù)載可至500g
閉環(huán)精度優(yōu)于1nm
支持超高真空、無磁版本選用
