產(chǎn)品分類
推薦品牌
| 型號 | SD15.x.C | SD30.x.C | |||||||
| 運動方向 | X方向 | ||||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 62×40×13.5 | 80×40×13.5 | |||||||
| 主體材料 | 鋁合金 | ||||||||
| 自重（g） | 250 | 350 | |||||||
| 運動行程（um） | 15（閉環(huán)） | 30（閉環(huán)） | |||||||
| 運動分辨率（nm） | 0.1 | 0.2 | |||||||
| 運動可重復精度（nm） | 2 | 4 | |||||||
| 線性誤差 | 優(yōu)于0.035% | ||||||||
| 搖擺（urad） | 2 | ||||||||
| 俯仰（urad） | 2 | ||||||||
| 共振頻率（kHz） | 3.3 | 2.2 | |||||||
| 共振頻率(300g）（kHz） | 1 | 0.625 | |||||||
| 剛性（N/um） | 28 | 18 | |||||||
| 閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本） | 電容式 | ||||||||
| 推薦使用溫度 | -20~80°C |
X方向掃描運動15um,3um
外形尺寸，62mmx40mmx13.5mm,80mmx40mmx13.5mm
閉環(huán)分辨率優(yōu)于0.1nm
電容位置傳感
高速運動響應
真空(.HV)，高真空(.UHV)選件升級
