產(chǎn)品分類
推薦品牌
| 型號 | SH30.xyz.0/.C | ||||||||
| 運動方向 | X,Y,Z方向 | ||||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 160×160×35 | ||||||||
| 主體材料 | 不銹鋼 | ||||||||
| 自重（g） | 4000 | ||||||||
| 運動行程（um） | 30×30×15 | ||||||||
| 運動分辨率（nm） | 0.1(開環(huán))0.3(閉環(huán)) | ||||||||
| 運動可重復精度（閉環(huán)）（nm） | <3 | ||||||||
| 偏擺角度（urad） | 20/20/50 | ||||||||
| 共振頻率(空載)（Hz） | 50 | ||||||||
| 最大負載（kg） | 10 | ||||||||
| 閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本） | 電容式 | ||||||||
| 驅(qū)動電壓（V） | 150 | ||||||||
| 推薦使用溫度 | -20~80°C |
三維度XY掃描運動30umx30umx15um
外形尺寸，160mmx160mmx35mm
閉環(huán)分辨率優(yōu)于0.3nm
最大負載10kg
支持高真空(HV)和超高真空(UHV)選件升級
