產(chǎn)品分類
推薦品牌
| 型號(hào) | Carrier200.xy./xyz.C | ||||||||
| 運(yùn)動(dòng)方向 | Carrier.S200.XY:X，Y方向 | ||||||||
| Carrier.S200.XYZ:X，Y，Z方向 | |||||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 182×150×15 | ||||||||
| 主體材料 | 鋁合金/不銹鋼 | ||||||||
| 自重（g） | 1000 | ||||||||
| 運(yùn)動(dòng)行程（um） | Carrier.S200.xy:200×200 | ||||||||
| Carrier.S200.xyz:200×200×200 | |||||||||
| 中間通孔尺寸（mm） | 77×65 | ||||||||
| 運(yùn)動(dòng)分辨率（nm） | 2 | ||||||||
| 運(yùn)動(dòng)可重復(fù)精度（nm） | 士20 | ||||||||
| 線性誤差 | 優(yōu)于0.1% | ||||||||
| 共振頻率（Hz） | 200(X)150(Y) | ||||||||
| 最大負(fù)載（g） | 500 | ||||||||
| 閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本） | 電容式 | ||||||||
| 驅(qū)動(dòng)電壓 | Max.150V | ||||||||
| 推薦使用溫度 | -15~40°C | ||||||||
| 質(zhì)量（kg） | 1 |
兩維度XY掃描運(yùn)動(dòng)200um×200um；
閉環(huán)定位精度優(yōu)于1nm；
最?負(fù)載500g；
針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案；
?持?磁(.NM)和?真空(.UHV)選件升級(jí)
