產(chǎn)品分類
推薦品牌
| 型號(hào) | Mirrors.TxTy0303 | Mirrors.TxTy1010 | Mirrors.Z12TxTy0101 | ||||||
| 運(yùn)動(dòng)方向 | TX,TY | Z，Tx&Ty向 | |||||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 詳見工程圖 | ||||||||
| 主體材料 | 鋁合金&不銹鋼 | ||||||||
| 運(yùn)動(dòng)行程 | θX,3mrad | Θx,10mrad | |||||||
| θy,3mrad | Θy,10mrad | 12um/1mrad/1mrad | |||||||
| 運(yùn)動(dòng)分辨率(開環(huán)) | 0.05urad（開環(huán)） | 0.2urad（開環(huán)） | Z：0.2nm；Tx：0.05urad；Ty：0.05urad | ||||||
| 運(yùn)動(dòng)分辨率(閉環(huán)) | 0.1urad（閉環(huán)） | 0.5urad（閉環(huán)） | Z：0.4nm；Tx：0.1urad；Ty：0.1urad | ||||||
| 線性誤差 | <0.1% | 0.002 | |||||||
| 共振頻率(空載) | 2kHz | 1kHz | 5.5kHz | ||||||
| 搖擺半徑 | 5.5mm | / | |||||||
| 閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本） | SGS | 電阻式 | |||||||
| 驅(qū)動(dòng)電壓 | Max.150V | ||||||||
| 推薦使用溫度 | -20~80℃ | ||||||||
| 搭配控制器 | Archimedes.3S控制器 | ||||||||
| 鏡片重量 | 30g | 30g | / |
閉環(huán)分辨率優(yōu)于1nm
最大負(fù)載3.5kg
針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案
支持無磁(NM)和高真空(UHV)選件升級(jí)
