產(chǎn)品分類
推薦品牌
| 型號 | Carrier.HS100.z.C | Carrier.HS100.xy.C | Carrier.HS100.zTxTy.C | Carrier.S100.xyRz.C | |||||
| 工作環(huán)境 | .NM，絕對無磁版本；.UHV，超高真空版本； | ||||||||
| 運動方向 | Z方向 | XY方向 | Z，θx&θy | XY方向+Rz旋轉(zhuǎn) | |||||
| 底面尺寸×高度（mm） | 150×50×30 | 150×150×30 | 150×150×30 | 150×50×30 | |||||
| 主體材料 | 鋁合金&不銹鋼 | ||||||||
| 自重（g） | 1000 | ||||||||
| 運動行程 | 100um | 100um×100um | 100um，1mrad&1mrad | 100umx100umRz:1mard | |||||
| 中空透孔（mm） | 66×66 | ||||||||
| 線性度誤差（z方向運動） | 0.00035 | ||||||||
| 俯仰/偏擺/旋轉(zhuǎn) | 50urad/50urad/10urad | / | / | / | |||||
| 運動分辨率（閉環(huán)/開環(huán)） | 1nm/0.3nm | 1nm/0.2nm | 1nm/0.5nm | 1nm/0.2nm | |||||
| 運動可重復(fù)精度 | ±10nm | ±10nm | ±10nm,±0.1urad | ±10nm | |||||
| 剛性（N/um） | 2.5 | 2 | 2 | 2 | |||||
| 共振頻率（空載/2.5kg） | 500Hz/200Hz | 420Hz/130Hz | 480Hz/160Hz | 420Hz/130Hz | |||||
| 最大負(fù)載（kg） | 5 | 3.5 | 2.5 | 3.5 | |||||
| 閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本） | 電容式 | ||||||||
| 驅(qū)動電壓 | Max.150V | ||||||||
| 推薦使用溫度 | -15~40°C |
閉環(huán)分辨率優(yōu)于1nm
最大負(fù)載3.5kg
針對光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案
支持無磁(NM)和高真空(UHV)選件升級
