型號 | DVIA-M1000 | DVIA-M2000 | DVIA-M3000 | ||||||
尺寸 | 隔振器(mm) | 215x215x180 | 232x232x180 | 308x308x180 | |||||
控制器(mm) | 334x357x120 | 334x357x120 | 334x357x120 | ||||||
*大負(fù)載(kg) | 1500-3500 | 1500-3500 | 1500-3500 | ||||||
重量(kg) | 15 | 15 | 15 | ||||||
驅(qū)動方式 | 電機(jī)驅(qū)動 | ||||||||
隔振自由度 | 6個自由度 | ||||||||
隔振效率 | 95%-99%at10Hz | ||||||||
回復(fù)時間 | <0.5Sec | ||||||||
驅(qū)動器推力 | 豎直>20N,水平>40N | ||||||||
輸入電壓 | AC85-264/50-60Hz | ||||||||
功率消耗 | 峰值功率110W,穩(wěn)定功率50W | ||||||||
空氣壓力 | 大于0.5Mpa | ||||||||
環(huán)境要求 | 溫度℃ | 5-50°C | |||||||
濕度 | 20%-90% | ||||||||
主動隔振頻率范圍 | 0.5-100Hz | ||||||||
初始水平調(diào)整 | 自動調(diào)整 | ||||||||
系統(tǒng)配置 | 4個隔振器包含控制箱 |
具有非常優(yōu)良的隔振性能,特別是在低頻0.5Hz-10Hz達(dá)到90%以上的隔振效率;
采用慣性傳感器,可以檢測出六個自由度的振動并做補(bǔ)償;
采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺面,厚度可選100/200/300mm;
進(jìn)口精密主動隔振光學(xué)平臺;
隔振性能優(yōu)異,廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃面隧道顯微鏡,激光干涉儀,半導(dǎo)體檢測設(shè)備,三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等