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| 型號 | UFP3C-L | UFP3C-R | UFP5C | UFP5C-R | UFP6C-L | UFP6C-R | |||
| 行程(靈敏度) | X | 粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) | |||||||
| Y | 粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) | ||||||||
| Z | 粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) | ||||||||
| θx | ±3°(≤25.2″) | ||||||||
| θy | ±3°(≤23.4″) | ||||||||
| θz | ±4°(≤34″) | ||||||||
| 導向機構 | 交叉滾柱導軌 | 交叉滾柱導軌+交叉滾柱軸環(huán) | |||||||
| 驅動方式 | 分厘卡 | ||||||||
| 主體材料及表面處理 | 鋁合金，黑色陽極氧化處理 | ||||||||
| 自重(Kg) | 1.74 | 2.37 | 2.7 | ||||||
| 負載(Kg) | 1.5 | 1 | 0.5 |
