型號 | UFP1A | UFP1B | UFP1C-L | UFP1C-R | UFP2T-L | UFP2T-R | |||
臺面尺寸(mm) | 60×60 | 45×45 | |||||||
臺面厚度(mm) | 20 | 25 | 30 | ||||||
移動量 | 粗調(diào):±6.5mm;精調(diào):±0.3mm | θx:±3°;θy:±3° | |||||||
導(dǎo)向機(jī)構(gòu) | 線性滑塊導(dǎo)軌 | 交叉滾柱導(dǎo)軌 | 交叉滾柱軸環(huán) | ||||||
驅(qū)動 | 分厘卡 | ||||||||
主體材料及表面處理 | 鋁合金,黑色陽極氧化處理 | ||||||||
自重(Kg) | 0.28 | 0.32 | 0.4 | 0.64 | |||||
靈敏度 | 粗調(diào):≤10μm;精調(diào)≤0.5μm | θx:≤25.2″;θy:≤23.4″ | |||||||
靜態(tài)平行度 | ≤60μm | ||||||||
運(yùn)動平行度 | ≤10μm | ||||||||
運(yùn)動直線度 | ≤3μm | ||||||||
水平負(fù)載(Kg) | 5 | 5 | 5 | 1.5 |